OPH-F系列真蜂窩氣浮隔振光學(xué)平臺是我司隔振平臺系列中隔振的科研級氣浮隔振光學(xué)平臺，主要應(yīng)用于高分辨顯微成像、精密光學(xué)測量、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等對振動有非常高要求的儀器設(shè)備等。整套隔振系統(tǒng)分為臺面、氣浮支架、氣泵三部分。臺面采用桁架式蜂窩芯設(shè)計，每個蜂窩單元都使用三重芯板接觸面，確保了較高的剛度和較大的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積，極大提高了整體平臺的粘接強度和性能；每個螺紋孔下面都有一個隔離杯，便于用戶取回小零件或小樣品，同時也起到防水防塵等作用。上臺面材料選用SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼，具有很好的耐腐蝕性能。氣浮式支架采用隔振效果良好的膜式空氣彈簧，支撐腿內(nèi)部采用二級氣室隔離，高阻尼小孔，隔振性能良好，穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。自動平衡，自動充氣全部氣動執(zhí)行元件采用進口產(chǎn)品。

技術(shù)參數(shù)：

· 水平方式：自動充氣，自動平衡

· 固有頻率：1～1.8Hz

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重復(fù)定位精度：±0.10mm

· 臺面材料：SUS430（1Cr17）高導(dǎo)磁不銹鋼，不易生銹

· 臺面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：桁架式蜂窩芯結(jié)構(gòu)，蜂窩芯密度：≥250kg/m³

· 臺面厚度：100/200/250mm

· 平面度：0.05~0.1mm/m²

· 臺面粗糙度：0.8~1.5μm

· 氣浮支架：雙層氣室，3個進口真空管水平調(diào)節(jié)閥，高穩(wěn)定四或六支撐腿；

每個氣浮腿上面都配有氣囊裝置限位保護器，延長氣囊使用壽命

· 無油氣泵：噪音＜46db，0.2-0.4MPa

· 總高度~800mm，總高度可調(diào)范圍：~±20mm

· 孔間距：25mm（機械打孔）

· 孔徑：M6螺紋孔

細節(jié)圖：

進口水平調(diào)節(jié)機構(gòu) 臺面真蜂窩結(jié)構(gòu) 氣囊限位/保護裝置 滑動腳輪

側(cè)面圖：

選型表：

部分客戶案例：

松山湖材料實驗室（規(guī)格：4500*1500*800mm）

上海微系統(tǒng)所（規(guī)格：2000*1200*800mm）